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利摘要显示，本实用新型公开了种干燥退火体式设备，包括容纳腔、真空接口、承载台、热电偶TC以及辐射光源；真空接口与所述容纳腔连通，所述真空接口与抽真空装置连接，以使所述抽真空装置能够对所述容纳腔进行抽真空；承载台设置于所述容纳腔内，所述承载台用于支撑目标部件；热电偶TC设置在所述承载台上，用于监控目标部件的温度均；辐射光源设置在所述容纳腔内，且所述辐射光源位于所述承载台用于支撑目标部件的侧，所述辐射光源用于产生朝向目标部件照射的辐射光线，以对所述目标部件进行辐射退火。本实用新型的干燥退火体式设备能够在台设备中进行退火处理和真空干燥处理。

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